
平面平晶測量平面性的原理依據(jù)
平面平晶測量平面性的原理依據(jù)
測量時(shí),先使平晶邊緣輕輕地與被測表面接觸,逐漸使整個(gè)表面接觸,再調(diào)整平晶使與被測表面之間保持一微小夾角,直到出現(xiàn)清晰的干涉條紋為止。如干涉條紋很密而調(diào)整平晶位置又不能使干涉條紋的間距加寬,則說明被測表面或平晶上有微塵或其他雜物,應(yīng)清洗。
光在平晶表面反射和被測表面反射回來的光線形成干涉現(xiàn)象。由于被測表面平面度的影響,干涉光線的光程差不同,因此形成干涉條紋。通過測量干涉條紋的彎曲量并計(jì)算可得被測樣品的平面度。
是利用光線的干涉原理,在波的傳播過程中,介質(zhì)中質(zhì)點(diǎn)的振動雖頻率相同,但步調(diào)不一致,兩個(gè)質(zhì)點(diǎn)的振動步調(diào)一致,為同相點(diǎn);介質(zhì)中各質(zhì)點(diǎn)同時(shí)參與兩個(gè)振源引起的振動。
質(zhì)點(diǎn)的振動為這兩個(gè)振動的矢量和,距離差為波長的整數(shù)倍時(shí),兩波源在P點(diǎn)引起的振動的步調(diào)一致,為同相振動,疊加結(jié)果是兩數(shù)值之和,即振動加強(qiáng),是強(qiáng)點(diǎn)